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氣冷羅茨真空泵的應(yīng)用領(lǐng)域
更新時(shí)間:2024-05-14  |  點(diǎn)擊率:1439
  氣冷羅茨真空泵意味著該泵可以在大氣壓下開頭泵送,并且可以將泵送的氣體直接排放到大氣中。泵腔內(nèi)沒有油或其他介質(zhì),并且泵的極限壓力與油密封的真空泵處于同一水平?;蚩拷鼨C(jī)械真空泵。
 
  在氣冷羅茨真空泵行業(yè)中,當(dāng)前大多數(shù)真空泵都使用油,水和其他聚合物作為泵介質(zhì)。它們的主要功能是潤滑,冷卻和密封。但是,真空泵和抽運(yùn)系統(tǒng)有以下問題要解決:1、泵的工作介質(zhì)污染了抽運(yùn)的容奣。最直接的后果是它將影響產(chǎn)品質(zhì)量并增加泵的維護(hù)成本;2、在此過程中,反應(yīng)材料會使泵中的介質(zhì)變質(zhì),從而導(dǎo)致泵體無法正常工作。 這是當(dāng)前面臨的兩個(gè)主要問題。
 
  氣冷羅茨真空泵的使用可以取得很好的效果,那么氣冷羅茨真空泵的應(yīng)用領(lǐng)域有哪些?以下將重點(diǎn)介紹其應(yīng)用范圍:
 
  1、氣冶羅茨泵適用于化學(xué),制藥和食品德業(yè)的蒸餾,干燥,脫氣,包裝等,以防止有機(jī)溶劑污染;
 
  2、低壓化學(xué)氣相沉積中的多晶硅制備工藝;
 
  3、半導(dǎo)體刻蝕工藝,這些生產(chǎn)工藝常常使用腐蝕性氣體和磨料顆粒;
 
  4、除半導(dǎo)體工藝外,某些還會產(chǎn)生顆粒的工藝。在這些過程中,顆粒不會混入油泵中,而是從油泵中排出,這可以通過干式真空泵解決;
 
  5、用作常規(guī)無油清潔真空系統(tǒng)的前泵,以防止油污染。

 

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